286种抛光垫的设计加工制造方法 加工技术 化学机械抛光垫

  1 02118060.1 一种抛光垫
   2 00819800.4 内装有光传感器的抛光垫
   3 01814572.8 带槽的抛光垫及其使用方法
   4 96119219.4 具有带槽和孔的抛光垫的抛光装置
   5 96196447.2 抛光垫
   6 98106465.5 使用皮带式抛光垫抛光平面的设备和方法
   7 98123946.3 带有用于支承抛光垫的密封流体腔的抛光工具
   8 98117633.x 改进抛光垫结构的抛光机
   9 98805585.6 用于半导体底物的抛光垫
   10 98807897.x 改进的抛光垫及其相关的方法
   11 98810545.4 借研磨抛光系统制造存储盘或半导体器件和抛光垫
   12 98804962.7 镶嵌式抛光垫及其有关方法
   13 00800916.3 化学－机械抛光垫的修整装置及方法
   14 99810343.8 抛光垫
   15 99810561.9 半导体基材的抛光垫
   16 99810562.7 半导体基材的抛光垫
   17 00802934.2 改进的抛光垫及其抛光方法
   18 99814332.4 抛光垫及抛光装置
   19 00803144.4 流体喷布式固定研磨剂抛光垫
   20 00803969.0 抛光垫及其形成的方法
   21 00806470.9 调节晶片抛光垫的方法
   22 00805732.x 修整抛光垫的设备和方法
   23 200710147215.6 具有不均匀间隔的凹槽的化学机械抛光垫
   24 200710147219.4 具有重叠的固定面积螺旋凹槽的化学机械抛光垫
   25 200610126354.6 抛光垫及其制造方法
   26 200680017013.3 抛光垫、其生产方法及使用其生产半导体器件的方法
   27 200680018565.6 用于化学机械抛光的多层抛光垫材料
   28 200610118833.3 抛光垫以及化学机械抛光方法
   29 200610118834.8 抛光垫以及化学机械抛光方法
   30 200680022413.3 包含磁性感应粒子的抛光垫及其使用方法
   31 200710300517.2 化学机械抛光垫
   32 200810004970.3 微孔抛光垫
   33 200710097964.2 抛光垫及其制造方法
   34 200680026613.6 包含具有聚氨酯基体的互渗液化烯类单体网状物的抛光垫
   35 200680027886.2 化学机械抛光用的化学改性抛光垫
   36 200810005414.8 具有用来将浆料保留在抛光垫构造上的凹槽的抛光垫
   37 200810005426.0 具有用于降低浆液消耗的凹槽的抛光垫
   38 200710300518.7 高弹体改性的化学机械抛光垫
   39 200710097965.7 抛光垫、其使用和其制造方法
   40 200710157006.x 抛光垫修整装置
   41 200680012730.7 用于化学机械平整化的定制抛光垫和制造方法及其应用
   42 200410038714.8 抛光垫及抛光半导体晶片的方法
   43 200410045172.7 抛光垫和化学机械抛光方法
   44 200410045708.5 抛光垫
   45 200410064056.x 化学机械抛光垫以及化学机械抛光方法
   46 03801567.6 半导体晶片用抛光垫的加工方法以及半导体晶片用抛光垫
   47 200410011823.0 用于化学机械抛光的弹性抛光垫板
   48 200410090362.0 化学机械抛光垫
   49 02827213.7 抛光垫
   50 200410095038.8 具有高透光窗口的抛光垫
   51 03803363.1 抛光垫、抛光装置及抛光方法
   52 200410010483.x 抛光垫
   53 03807720.5 抛光垫及使用该垫制造半导体衬底的方法
   54 03805771.9 改进抛光性能和耐久性的抛光垫片载体
   55 03805785.9 使用超声反射检测抛光垫的表面性质
   56 200510007847.3 含可释修光微粒的抛光垫
   57 200510054230.7 化学机械抛光垫、其制造方法以及化学机械抛光方法
   58 200510052409.9 层状抛光垫的成形方法
   59 03814472.7 具有光传感器的抛光垫
   60 200410057956.1 用于电化学机械抛光的抛光垫
   61 03812395.9 加热抛光垫的方法与设备
   62 03817583.5 微孔抛光垫 
   63 200410017563.8 抛光垫与抛光盘之间的气泡检测方法
   64 200410063161.1 防剥离的抛光垫
   65 03822956.0 平面化用的具有窗口的抛光垫片
   66 03822957.9 平面化用的抛光垫片
   67 200480017653.5 用于电化学机械抛光的抛光垫
   68 200380100789.8 软的化学机械平坦化/抛光(cmp)抛光垫的金刚石调理
   69 200410018600.7 化学机械研磨抛光系统中的抛光垫的调理方法
   70 200510073836.5 用于电化学机械抛光的抛光垫
   71 200510077948.8 具有在抛光时促进混合尾迹的凹槽结构的抛光垫座
   72 200510077949.2 具有减压通道的抛光垫座
   73 200510084125.8 抛光垫整修器及其制造和循环使用方法
   74 200480002084.7 抛光垫调节
   75 200380108922.4 具有微孔的聚氨酯泡沫的制备方法和由此获得的抛光垫
   76 200510047178.2 化学机械抛光用抛光垫的制备方法
   77 200480003033.6 具有复合透明窗口的化学机械抛光垫
   78 200510113302.0 具有流线型窗玻璃的化学机械抛光垫
   79 200510108493.1 形成具有很少条纹的抛光垫的方法
   80 200480005566.8 带有窗口的抛光垫片
   81 200510119986.5 抛光垫
   82 200510083744.5 从底盘上去除cmp抛光垫的设备和方法
   83 200480004831.0 抛光垫设备和方法
   84 200480000983.3 用于半导体晶片的抛光垫、装备有该抛光垫用于抛光半导体晶片的层叠体以及用于抛光半导体晶片的方法
   85 200510128683.x 制造减少条纹的化学机械抛光垫的设备
   86 200510128684.4 减少了条纹的化学机械抛光垫的制备方法
   87 200510131652.x 具有重叠阶梯状凹槽排列的化学机械抛光垫
   88 200510131657.2 具有排列的凹槽来提高抛光介质利用的化学机械抛光垫
   89 200510121363.1 抛光垫修整装置及修整方法
   90 200480015767.6 具有边缘表面处理的抛光垫片
   91 200610004830.7 具有径向交替凹槽段结构的化学机械抛光垫
   92 200480016709.5 用于化学机械抛光的多层抛光垫材料
   93 200480016708.0 制造包含光学透射区的抛光垫的超音波焊接方法
   94 200610059557.8 水基抛光垫及其制造方法
   95 200480026762.3 具有凹陷窗的抛光垫
   96 200480029047.5 用于化学机械抛光的抛光垫
   97 200510073749.x 化学机械抛光垫及化学机械抛光方法
   98 200610073713.6 多孔反应注塑化学机械抛光垫的制造方法
   99 200610074776.3 径向倾斜的抛光垫
   100 200610041112.7 冷冻纳米磨料抛光垫及其制备方法
   101 200580001483.6 抛光垫的基垫和包括该基垫的多层垫
   102 200580003736.3 聚氨酯抛光垫
   103 200610121531.1 透明抛光垫
   104 200610121530.7 抛光垫及其制造方法
   105 200580008352.0 低表面能的化学机械抛光垫
   106 200580008353.5 包含疏水区及终点检测口的抛光垫
   107 200580008582.7 具有成分填充孔的多孔化学机械抛光垫
   108 200610151795.1 具有改进的粘着性的水基抛光垫及其制造方法
   109 200610111832.6 抛光垫、抛光系统以及制造该抛光垫的方法
   110 200480040870.6 用于连续成形一种用作半导体抛光垫片的均一片材的工艺和设备
   111 200510113718.2 化学机械抛光装置及其抛光垫的清洗方法与平坦化的方法
   112 200610137406.x 粘结抛光垫的方法和粘结抛光垫的夹具
   113 200580017036.x 具有振荡式路径凹槽网络的抛光垫
   114 200610172857.7 制造化学机械抛光垫的方法
   115 200580023746.3 具有改进流动性的凹槽网络的抛光垫
   116 200610171190.9 改进缺陷度的多层抛光垫及其制造方法
   117 200610156267.5 化学机械抛光垫和化学机械抛光方法
   118 200580015220.0 抛光垫
   119 200580025078.8 用于修整抛光垫的方法和设备
   120 200610057685.9 具有表面纹路的抛光垫和其制造方法与制造装置
   121 200580034721.3 具有定向颗粒的化学机械抛光垫修整器及其相关方法
   122 200580036376.7 抛光垫以及垫磨除速率和平坦化的改进方法
   123 200580040984.5 呈曲面的化学机械抛光垫修整器及其相关方法
 124 200580029151.9 具有多微孔区域的抛光垫
 125 200710109245.8 化学机械抛光垫
 126 200710109253.2 化学机械抛光垫
 127 200580045345.8 化学机械抛光垫修整器
 128 200980131008.9 抛光垫及抛光垫的制造方法
 129 201010002833.3 一种控制抛光垫使用时数的方法和装置
 130 200980133449.2 具有多孔单元的抛光垫以及制造和使用该抛光垫的方法
 131 201110043009.7 基于固结磨料抛光垫的软脆lbo晶体的加工方法
 132 201010621521.0 基板抛光设备、基板抛光方法和在该抛光设备中用于调节抛光垫的抛光面温度的设备
 133 201010143273.3 抛光垫及其制造方法
 134 201110093293.9 微孔抛光垫
 135 201010164026.1 制造抛光垫的方法和抛光垫
 136 201110223133.1 含铜固结磨料研磨抛光垫
  137 201110223134.6 含铁固结磨料研磨抛光垫
 138 201110256784.0 含石墨的固结磨料研磨抛光垫
 139 201010199875.0 抛光垫及其制造方法
140 201110185237.8 具有复合排屑结构的研磨抛光垫
 141 201110298185.5 开槽型冰冻固结磨料抛光垫及其制备方法
 142 201110138532.8 一种用于改善晶圆表面被固定磨料抛光垫刮伤的装置
143 201080041416.8 沟槽式化学机械抛光抛光垫
 144 201080051180.6 旋转抛光垫
 145 201180005898.6 具有局部区域透明部的化学机械抛光垫
 146 87202507 硅片无蜡抛光垫
 147 200520127220.7 一种抛光垫调节器及具有抛光垫调节器的化学机械装置
 148 200520060785.8 抛光垫
149 201120123174.9 一种抛光垫清洁装置及抛光装置
150 201020683507.9 一种抛光垫
 151 201020512600.3 化学机械抛光垫修整器
 152 01818866.4 包含粒状聚合物和交联聚合物粘结剂的抛光垫
 153 01821824.5 抛光垫及其使用方法
154 01818877.x 带有内置光学传感器的抛光垫
 155 200310120349.0 抛光垫
  156 03140681.5 抛光垫及多层抛光垫
 157 02803940.8 含固体催化剂的化学机械抛光的抛光垫
 158 200410003134.5 抛光垫及制造半导体器件的方法
159 02813615.2 提高垫寿命的化学机械抛光垫调节器方向速度控制
 160 02807921.3 抛光垫及装置
 161 200410028320.4 用于抛光垫窗口的抗反射层
 162 01816948.1 包括填充的半透明区域的抛光垫
163 01816826.4 抛光包括铜和钨的半导体器件结构中使用的浆液与固定磨料型抛光垫以及抛光方法
 164 200410043041.5 抛光垫及其生产方法
 165 02814767.7 化学机械抛光垫的调节的前馈和反馈控制
 166 200410036675.8 具有优化的槽的抛光垫及使用方法
 167 02807483.1 具有成型或柔性窗口结构的加强的抛光垫
 168 01823540.9 具有孔和/或槽的化学机械抛光垫
169 01823541.7 具有波形槽的化学机械抛光垫
   170 01823599.9 利用激光制造化学机械抛光垫的方法
   171 02817163.2 利用激光束和掩模制造抛光垫的方法
   172 01823680.4 微孔化学机械抛光垫
   173 200710024821.9 具有自修正功能的固结磨料研磨抛光垫及制备方法
   174 200610028780.6 抛光垫以及化学机械抛光方法
   175 200580012008.9 抛光垫及其制造方法
   176 200580048296.3 抛光垫
   177 200710142346.5 内装有光传感器的抛光垫
   178 200710141091.0 抛光垫和化学机械抛光装置
   179 200710132281.6 用于化学机械抛光的分层冷冻磨料抛光垫及其制备方法
   180 200710039196.5 一种改进型抛光垫调节器工艺
   181 200680037844.7 表面具有纹理的微孔抛光垫
   182 200810005006.2 化学机械抛光垫
   183 200810022741.4 带自修整功能的磨损均匀性好的固结磨料抛光垫
   184 200710199329.5 用于化学机械抛光的抛光垫及应用其的化学机械抛光方法
   185 200810212660.0 互相连接的多元件栅格抛光垫
   186 200710044852.0 一种抛光垫修整头
   187 200810212659.8 具有控制的润湿的化学机械抛光垫
   188 200780008662.1 抛光垫、抛光装置、以及使用抛光垫的工艺
   189 200810177863.0 改进的化学机械抛光垫及其制造和使用方法
   190 200780014189.8 抛光垫的制造方法
   191 200810188791.x 改进的化学机械抛光垫以及制造和使用这种抛光垫方法
   192 200810244096.0 固结磨料研磨抛光垫及其制备方法
   193 200780017751.2 抛光垫
   194 200780017994.6 抛光垫
   195 200780027348.8 抛光垫
   196 200780027350.5 抛光垫
   197 200780028002.x 包含封装在聚合物外壳中的液体有机材料芯体的化学机械抛光垫及其制造方法
   198 200680045085.9 具有表面粗糙度的抛光垫
   199 200780032466.8 垫表面上具有微槽的抛光垫
   200 200780033122.9 抛光垫的制造方法
   201 200780033171.2 抛光垫
   202 200780046335.5 化学机械抛光垫调整器及其相关方法
   203 200880003811.x 抛光垫及抛光垫的制造方法
   204 200810127802.3 抛光垫及其制造方法
   205 200910089150.3 一种用于对抛光垫进行修整的修整装置
   206 200910160798.5 化学机械抛光垫制造组合件
   207 200910160797.0 多层化学机械抛光垫的制造方法
   208 200910161171.1 化学机械抛光垫
   209 200810146007.9 抛光垫及其形成方法以及抛光方法
   210 200880016877.2 用于抛光垫的衬垫和使用该衬垫的抛光垫
   211 200880021244.0 用于高温应用的层叠抛光垫
   212 201010165157.1 制造气体夹杂物缺陷减少的化学机械抛光垫抛光层的方法
   213 201010193803.5 一种仿生结构的锡固结金刚石磨料抛光垫及制造方法
   214 200910203296.6 一种于内部原位生成空隙的抛光垫及其方法
   215 201010217079.5 一种用于化学机械平坦化的抛光垫及其制造方法
   216 200880124117.3 用于形成软膏抛光垫的方法和装置
   217 200910208016.0 具有整体识别特征的化学机械抛光垫
   218 200910208017.5 具有密封窗口的化学机械抛光垫
   219 200910130872.9 具有混合研磨表面的cmp抛光垫修整器及其相关方法
   220 200810182931.2 具有研磨粒的抛光垫及其制造方法
   221 200910222620.9 延长化学机械抛光垫修整器的使用寿命的方法
   222 201019026124.6 冰粒型固结磨料抛光垫及快速制备方法和装置
   223 200880102761.0 抛光垫
   224 200910000189.3 可导电的抛光垫及其制造方法
   225 200880107121.9 抛光垫及使用方法
   226 200880107231.5 抛光垫 电话 1331^^ool8…………778
   227 201010145260.x 基于热引发固化的固结磨料研磨抛光垫及其制备方法
   228 201010159580.0 基于葵花籽粒分布结构的仿生抛光垫及制造方法
   229 200910128266.3 抛光垫修整器
   230 200910130360.2 具有阻绝层的抛光垫和其制造方法
   231 200910213595.8 带有过渡层和粘接层的固结磨料研磨抛光垫
   232 201010158651.5 抛光垫以及抛光半导体晶片的方法
   233 201010240775.8 多功能抛光垫
   234 201010209209.0 抛光垫的制造方法
   235 201010209210.3 抛光垫的制造方法
   236 201010217013.6 一种抛光垫修整头
   237 201010193812.4 一种仿生表面结构抛光垫及制造方法
   238 201010502782.0 开槽型冰冻固结磨料抛光垫及其制备方法
   239 200880128602.8 具有经控制的孔隙形态的抛光垫
   240 200980114547.1 聚氨酯发泡体和抛光垫
   241 201010507026.7 双孔结构抛光垫
   242 200910207914.4 抛光垫修整器
   243 201010502781.6 冰冻固结磨料抛光垫承载装置及其抛光垫
   244 201010502783.5 制备冰冻固结磨料抛光垫的模具
   245 200980115576.x 抛光垫片组合物与制造和使用方法
   246 200980127263.6 具有终点窗口的抛光垫以及使用其的系统和方法
   247 201110049840.3 抛光垫
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